에스앤에스텍, 자외선 마스크 개발차 100억 신규장비 투자 2020-06-12 채규섭 기자 에스앤에스텍은 극자외선(EUV)용 블랭크마스크 및 펠리클(Pellicle·보호막) 기술개발과 양산을 위해 100억원 규모의 신규 장비 투자를 결정했다고 12일 공시했다. 이는 자기 자본 대비 11.3%이며 투자기간은 이날부터 오는 2021년 6월 30일까지다.